EDS – 激光清边系统

我们的激光系统可用于集成各种激光源。这样就能够对任何类型的薄膜工艺进行加工：

• 所有正面或背面的金属导电层(Mo, Al, Ag)
• 所有半导体层
• 所有TCO-涂层(ITO, ZnO, SnO2)

集成传感器系统可对典型的玻璃尺寸公差进行处理。软件可实现对修边区域的灵活编程。这就无需对系统进行重新设计。由于我们系统具有高光束质量，可作为P4-绝缘刻划的替代品。如果需要，也可在我们的清边系统中额外集成绝缘刻划(532nm / 1064nm) 。